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产品分类
产品简介
产品特性 / Product characteristics
• 可搭载多样蒸发源（EB、电阻式、EB+电阻式）。
• 对应不同制程可选多种基板holder（lift-off、行星式、卫星式等）。
• φ2 in〜 6 in基板、矩形基板、Si、化合物、glass、陶瓷灯各种基板对应。
• 液晶触控板集中现实操作。
• 集成电脑拥有优异的操作性和性能（recipe功能、data-logging、maintenance assistant功能）。
产品应用 / Product application
• Power Device等化合物相关
• LED、LD、高速device
• 各种实验用
• 其他各种电子部件
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