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产品分类
产品简介
产品特性 / Product characteristics
• 有磁场ICP（ISM）方式-可产生低圧，高密度plasma、为不挥发性材料加工的专用设备。
• 可提供对应从常温到高温（400ºC）的层积膜整体刻蚀、硬掩膜去除的刻蚀解决方案。
• 通过从腔体到排气line、DRP为止的均匀加热来防止沉积物。
• 该设备采用可降低养护清洗并抑制partical产生的构造和材料及加热机构，是在不挥发性材料的刻蚀方面拥有丰富经验的量产装置。
• 实现了长期的再现性、安定性
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